电子芯片厂超纯水处理系统工程实景
所属分类:
工程案例
工业生产用水处理系统
产品中心
关键词:
1、生产、生活给水系统:
1)从建筑南侧接一根DN200自来水,经过计量后供给纯水站原水水箱补水和生产生活水箱补水。
2)纯水系统(18兆欧):从纯水站引DN125的纯水管供给EMC切割机、划片机、半自动研磨机、研磨机、集尘器、研磨机、DTU、全自动激光开槽设备、化镀机等用水。从设备引入DN65的纯水回水主管到纯水站的纯水水箱。
3)RO1水系统:从纯水站引DN80的RO1水管供给空调加湿补水和动力系统补水。